電子廠廢氣處理方法——低溫等離子技術

電子廠（chǎng）涉及到的行業很多，不同行（háng）業在工藝上有一定（dìng）差異（yì），產生的廢氣種類也（yě）有一定的差異（yì），今天就從半導體行業入手為大家（jiā）介紹電子（zǐ）廠廢（fèi）氣處理。電（diàn）子廠半導體廢氣的處理主要針對半（bàn）導體行業有機廢氣和毒性氣體的治理，我們嚐試使用低（dī）溫等離子廢氣處理技術（shù）。半（bàn）導（dǎo）體行（háng）業產（chǎn）生的有機廢氣，主（zhǔ）要（yào）可以（yǐ）分為，半導（dǎo）體製造工藝產生的有機廢（fèi）氣，和半導體封裝（zhuāng）工藝產生的有機廢氣。

1、廠家處（chù）理有機廢氣和毒氣的處理方法

現在，半導體製造過程中排放的含有有機成分的廢氣(voc)通（tōng）常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進行處理。

2、針對電子廠廢氣處理半導體行業有機廢氣和毒性氣（qì）體的治理，低溫等離子廢氣處理技術的淨化原（yuán）理（lǐ）是：

將普通的220V/380V交流（liú）電通過變壓器，變頻器（qì）轉換（huàn）為高頻高壓的電壓，產（chǎn）生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子破壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學鍵（jiàn），斷開這些化學鍵從而產生（shēng）了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫（qīng）氧自（zì）由基、臭氧等混合體，等離子（zǐ）體中的（de）氧原子和碳原子（zǐ）結合形成二氧化碳，氧原子（zǐ）和氫原子結合形成水分子，最終產生排放（fàng）到大氣中的氣體為無汙染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。

3、電子廠廢氣處（chù）理低溫等離子廢氣處理技術具有以（yǐ）下優點：

• 放電產生的低溫等離子體中，電子（zǐ）能量高，幾（jǐ）乎可以和（hé）所有的（de）惡臭氣體（tǐ）分子作用（yòng）。
• 反應快，不受氣（qì）速限製。
• 采用防腐蝕材料。
• 隻需用電，操作極為簡單。
• 設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，常溫常壓下即能使用。
• 氣阻小，適用於大風量的廢氣處理。

4、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技術應用領域：集（jí）成電路生產企業、分立器件生產企業（yè）、光電組件生（shēng）產企業。

5、半導體企業廢氣排放特征分析

半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放（fàng）濃度小（xiǎo）的特點。

6、半導體行業有機廢氣和毒氣的來源

• 半導（dǎo）體製造工藝產生的揮發性（xìng）有（yǒu）機廢氣，主要來源於光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序
• 與半導體（tǐ）製造工（gōng）藝相比（bǐ），半導體封（fēng）裝工藝產生的有機廢氣較為（wéi）簡單，主要為晶粒粘貼、封（fēng）膠後（hòu）烘烤過程產生的烘烤廢氣。
• 含毒氣性（xìng）廢氣，其來（lái）源為化（huà）學氣相（xiàng）沉積、幹蝕刻機（jī）、擴（kuò）散、離子布值機及（jí）磊晶等製（zhì）程時所產生。主要成分是磷化氫等。

電子廠廢（fèi）氣處理（lǐ）半導體低溫等離子技術，在實際設計中（zhōng），需要加洗滌塔作為預處理裝置，來攔截粉塵和易溶（róng）性的酸堿廢氣。今天就為大家介紹到這裏了，如果您想要了解（jiě）詳細的設計（jì）方案（àn），可以打電話（huà）向我們谘詢（xún）：17306171723。